nūhou

ʻIke ʻia hoʻi ka ʻenehana ʻoki uea daimana ʻo ia ka ʻenehana ʻoki abrasive hoʻopaʻa. ʻO ia ke ʻano electroplating a i ʻole ka hoʻopaʻa ʻana o ka resin o ka daimana abrasive i hoʻopaʻa ʻia ma luna o ka uea kila, ka uea daimana e hana pololei ana ma luna o ka uea silicon rod a i ʻole silicon ingot e hana i ka wili, e hoʻokō i ka hopena o ka ʻoki ʻana. Loaʻa i ka ʻoki uea daimana nā ʻano o ka wikiwiki ʻoki wikiwiki, ka pololei ʻoki kiʻekiʻe a me ka pohō waiwai haʻahaʻa.

I kēia manawa, ua ʻae piha ʻia ka mākeke kristal hoʻokahi no ka ʻoki ʻana i ka uea daimana silicon wafer, akā ua hālāwai pū kekahi i ke kaʻina hana hoʻolaha, ʻo ia ka velvet keʻokeʻo ka pilikia maʻamau. No laila, ke nānā nei kēia pepa i ka pehea e pale ai i ka pilikia o ka ʻoki ʻana i ka uea daimana monocrystalline silicon wafer velvet keʻokeʻo.

ʻO ke kaʻina hana hoʻomaʻemaʻe o ka wafer silicon monocrystalline ʻoki uea daimana, ʻo ia ka wehe ʻana i ka wafer silicon i ʻoki ʻia e ka mīkini ʻoki uea mai ka papa resin, wehe i ke kaula laholio, a hoʻomaʻemaʻe i ka wafer silicon. ʻO nā lako hoʻomaʻemaʻe he mīkini hoʻomaʻemaʻe mua (mīkini degumming) a me kahi mīkini hoʻomaʻemaʻe. ʻO ke kaʻina hana hoʻomaʻemaʻe nui o ka mīkini hoʻomaʻemaʻe mua: ka hānai ʻana-pīpī-pīpī-hoʻomaʻemaʻe ultrasonic-degumming-holoi wai maʻemaʻe-hānai ʻole. ʻO ke kaʻina hana hoʻomaʻemaʻe nui o ka mīkini hoʻomaʻemaʻe: ka hānai ʻana-holoi wai maʻemaʻe-holoi wai maʻemaʻe-holoi alkali-holoi alkali-holoi wai maʻemaʻe-holoi wai maʻemaʻe-holoi mua-dehydration (hāpai lohi) -hoʻomaloʻo-hānai.

ʻO ke kumumanaʻo o ka hana ʻana i ka velvet kristal hoʻokahi

ʻO ka wafer silicon monocrystalline ke ʻano o ka palaho anisotropic o ka wafer silicon monocrystalline. ʻO ke kumumanaʻo o ka hopena ka hoʻohālikelike kemika penei:

Si + 2NaOH + H2O = Na2SiO3 + 2H2↑

ʻO ke kumu, ʻo ke kaʻina hana hoʻokumu suede: ʻo ka hopena NaOH no ka nui o ka palaho o ka ʻili kristal like ʻole, (100) ka wikiwiki o ka palaho ʻili ma mua o (111), no laila (100) i ka wafer silicon monocrystalline ma hope o ka palaho anisotropic, i hana hope ʻia ma luna o ka ʻili no (111) cone ʻehā ʻaoʻao, ʻo ia hoʻi ke ʻano "pyramid" (e like me ka mea i hōʻike ʻia ma ke kiʻi 1). Ma hope o ke kūkulu ʻia ʻana o ke ʻano, i ka wā e pili ana ke kukui i ka pali pyramid ma kekahi Angle, e hōʻike ʻia ke kukui i ka pali ma kekahi Angle ʻē aʻe, e hana ana i kahi omo lua a ʻoi aku paha, a pēlā e hōʻemi ai i ka reflectivity ma ka ʻili o ka wafer silicon, ʻo ia hoʻi, ka hopena pahele māmā (e nānā i ke Kiʻi 2). ʻO ka maikaʻi o ka nui a me ke ʻano like o ke ʻano "pyramid", ʻoi aku ka maopopo o ka hopena pahele, a ʻoi aku ka haʻahaʻa o ka emitrate o ka ʻili o ka wafer silicon.

Kiʻi 1: Micromorphology o ka wafer silicon monocrystalline ma hope o ka hana alkali

Kiʻi 2: Ke kumumanaʻo pahele māmā o ka hale "pyramid"

Ka nānā ʻana i ka hoʻokeʻokeʻo kristal hoʻokahi

Ma ke ʻano o ka microscope electron scanning ma ka wafer silicon keʻokeʻo, ua ʻike ʻia ʻaʻole i hoʻokumu ʻia ka microstructure pyramid o ka wafer keʻokeʻo ma ia wahi, a me he mea lā he papa o ke koena "waxy" ka ʻili, ʻoiai ua hoʻokumu maikaʻi ʻia ke ʻano pyramid o ka suede ma ka ʻili keʻokeʻo o ka wafer silicon like (e nānā i ke Kiʻi 3). Inā he mau koena ma ka ʻili o ka wafer silicon monocrystalline, e loaʻa i ka ʻili ka nui o ke kūkulu "pyramid" a me ka hana like ʻana o ka ʻili a ʻaʻole lawa ka hopena o ka ʻili maʻamau, e hopena ana i kahi reflectivity o ka ʻili velvet i koe ma mua o ka ʻili maʻamau, ʻo ka ʻili me ke reflectivity kiʻekiʻe i hoʻohālikelike ʻia me ka ʻili maʻamau i ka ʻike maka ʻia he keʻokeʻo. E like me ka mea i ʻike ʻia mai ke ʻano o ka hoʻolaha ʻana o ka ʻili keʻokeʻo, ʻaʻole ia he ʻano maʻamau a maʻamau paha ma kahi nui, akā ma nā wahi kūloko wale nō. Pono ia ʻaʻole i hoʻomaʻemaʻe ʻia nā mea haumia kūloko ma ka ʻili o ka wafer silicon, a i ʻole ke kūlana o ka ʻili o ka wafer silicon i hana ʻia e ka haumia lua.

Kiʻi 3: Hoʻohālikelike o nā ʻokoʻa microstructure ʻāpana i nā wafers silicon keʻokeʻo velvet

ʻOi aku ka laumania o ka ʻili o ka wafer silicon ʻoki uea daimana a ʻoi aku ka liʻiliʻi o ka pōʻino (e like me ka mea i hōʻike ʻia ma ke Kiʻi 4). Ke hoʻohālikelike ʻia me ka wafer silicon mortar, ʻoi aku ka lohi o ka wikiwiki o ka hopena o ka alkali a me ka ʻili o ka wafer silicon ʻoki uea daimana ma mua o ka wafer silicon monocrystalline ʻoki mortar, no laila ʻoi aku ka maopopo o ka hopena o nā koena ʻili ma ka hopena velvet.

Kiʻi 4: (A) Micrograph ʻili o ka wafer silicon i ʻoki ʻia me ka mortar (B) micrograph ʻili o ka wafer silicon i ʻoki ʻia me ka uea daimana

ʻO ke kumu koena nui o ka ʻili wafer silicon i ʻoki ʻia me ka uea daimana

(1) Coolant: ʻo nā ʻāpana nui o ka coolant ʻoki uea daimana he surfactant, dispersant, defamagent a me ka wai a me nā ʻāpana ʻē aʻe. ʻO ka wai ʻoki me ka hana maikaʻi loa he hoʻokuʻu maikaʻi, hoʻopuehu a me ka hiki ke hoʻomaʻemaʻe maʻalahi. ʻOi aku ka maikaʻi o nā waiwai hydrophilic o nā Surfactants, kahi maʻalahi e hoʻomaʻemaʻe i ke kaʻina hana hoʻomaʻemaʻe wafer silicon. ʻO ka hoʻoulu mau ʻana a me ke kaʻapuni ʻana o kēia mau mea hoʻohui i loko o ka wai e hana i ka nui o ka huʻa, e hopena ana i ka emi ʻana o ke kahe o ka coolant, e hoʻopilikia ana i ka hana hoʻoluʻu, a me nā pilikia huʻa koʻikoʻi a me ka huʻa, kahi e hoʻopilikia nui ai i ka hoʻohana. No laila, hoʻohana pinepine ʻia ka coolant me ka mea defoaming. I mea e hōʻoia ai i ka hana defoaming, ʻo ka silicone a me ka polyether kuʻuna he hydrophilic maikaʻi ʻole. He maʻalahi loa ka adsorb i ka solvent i loko o ka wai a noho ma luna o ka wafer silicon i ka hoʻomaʻemaʻe ʻana ma hope, e hopena ana i ka pilikia o ka wahi keʻokeʻo. A ʻaʻole kūpono loa me nā ʻāpana nui o ka coolant, no laila, pono e hana ʻia i ʻelua mau ʻāpana, ua hoʻohui ʻia nā ʻāpana nui a me nā mea hoʻohemo i ka wai, i ke kaʻina hana o ka hoʻohana ʻana, e like me ke kūlana huʻa, ʻaʻole hiki ke kāohi i ka hoʻohana ʻana a me ka nui o nā mea antifoam, hiki ke ʻae maʻalahi i ka overdose o nā mea anoaming, e alakaʻi ana i ka hoʻonui ʻia ʻana o nā koena o ka ʻili wafer silicon, ʻoi aku ka paʻakikī o ka hana ʻana, akā naʻe, ma muli o ke kumukūʻai haʻahaʻa o nā mea maka a me nā mea maka defoaming agent, no laila, hoʻohana ka hapa nui o ka coolant kūloko i kēia ʻōnaehana formula; hoʻohana kekahi coolant i kahi mea hoʻohemo hou, hiki ke kūlike me nā ʻāpana nui, ʻaʻohe hoʻohui, hiki ke kāohi pono a me ka nui o kona nui, hiki ke pale pono i ka hoʻohana nui ʻana, he mea maʻalahi loa hoʻi ka hana ʻana i nā hoʻomaʻamaʻa, me ke kaʻina hana hoʻomaʻemaʻe kūpono, hiki ke hoʻomalu ʻia kona mau koena i nā pae haʻahaʻa loa, ma Iapana a me kekahi mau mea hana kūloko e hoʻohana i kēia ʻōnaehana formula, akā naʻe, ma muli o ke kumukūʻai kiʻekiʻe o nā mea maka, ʻaʻole maopopo kona pono kumukūʻai.

(2) Ke ʻano o ka hoʻopili a me ka resin: ma ke kahua hope o ke kaʻina hana ʻoki uea daimana, ua ʻoki mua ʻia ka wafer silicon kokoke i ka hopena e hiki mai ana, ʻAʻole i ʻoki ʻia ka wafer silicon ma ka hopena puka, ua hoʻomaka ka uea daimana i ʻoki mua ʻia e ʻoki i ka papa laholio a me ka papa resin, ʻOiai ʻo ke koʻokoʻo silicon a me ka papa resin he mau huahana resin epoxy, ʻo kona kiko palupalu ma waena o 55 a me 95 ℃, Inā haʻahaʻa ke kiko palupalu o ka papa laholio a i ʻole ka papa resin, hiki ke wela maʻalahi i ka wā o ke kaʻina hana ʻoki a lilo i palupalu a heheʻe, Hoʻopili ʻia i ka uea kila a me ka ʻili wafer silicon, Hoʻemi i ka hiki ke ʻoki o ka laina daimana, A i ʻole e loaʻa nā wafer silicon a hoʻoluʻu ʻia me ka resin, Ke hoʻopili ʻia, he paʻakikī loa ka holoi ʻana, ʻO ia ʻano haumia e hana pinepine ʻia ma kahi kokoke i ka lihi o ka wafer silicon.

(3) pauka silicon: i ke kaʻina hana o ka ʻoki ʻana i ka uea daimana e hua mai i ka nui o ka pauka silicon, me ka ʻoki ʻana, e ʻoi aku ka nui o ka pauka coolant mortar, i ka wā e lawa ai ka nui o ka pauka, e pipili i ka ʻili silicon, a ʻo ka ʻoki ʻana i ka uea daimana o ka nui a me ka nui o ka pauka silicon e maʻalahi ai ka adsorption ma ka ʻili silicon, e paʻakikī ai ka hoʻomaʻemaʻe. No laila, e hōʻoia i ka hoʻonui ʻana a me ka maikaʻi o ka coolant a hoʻemi i ka nui o ka pauka i loko o ka coolant.

(4) mea hoʻomaʻemaʻe: ʻo ka hoʻohana ʻana o nā mea hana ʻoki uea daimana i kēia manawa e hoʻohana nui ana i ka ʻoki mortar i ka manawa like, ʻo ka hapa nui e hoʻohana ana i ka ʻoki mortar prewashing, kaʻina hana hoʻomaʻemaʻe a me nā mea hoʻomaʻemaʻe, a pēlā aku., hoʻokahi ʻenehana ʻoki uea daimana mai ka ʻōnaehana ʻoki, e hana i kahi laina piha, he ʻokoʻa nui ka ʻokoʻa o ka coolant a me ka ʻoki mortar, no laila ʻo ke kaʻina hana hoʻomaʻemaʻe e pili ana, ka nui o nā mea hoʻomaʻemaʻe, ke ʻano, a pēlā aku e pono ai no ka ʻoki uea daimana e hana i ka hoʻoponopono like. He mea nui ka mea hoʻomaʻemaʻe, ʻo ke ʻano surfactant o ka mea hoʻomaʻemaʻe mua, ʻaʻole kūpono ka alkalinity no ka hoʻomaʻemaʻe ʻana i ka uea daimana ʻokiʻoki silicon wafer, pono no ka ʻili o ka uea daimana silicon wafer, e hoʻohui i ka ʻano a me nā koena o ka ʻili o ka mea hoʻomaʻemaʻe i kuhikuhi ʻia, a lawe pū me ke kaʻina hana hoʻomaʻemaʻe. E like me ka mea i ʻōlelo ʻia ma luna, ʻaʻole pono ka ʻano o ka mea hoʻohemo i ka ʻoki mortar.

(5) Wai: ʻO ka ʻoki ʻana i ka uea daimana, ka holoi mua ʻana a me ka hoʻomaʻemaʻe ʻana i ka wai kahe e loaʻa ana nā haumia, hiki ke hoʻopili ʻia i ka ʻili o ka wafer silicon.

E hōʻemi i ka pilikia o ka hoʻolilo ʻana i ka lauoho velvet i keʻokeʻo

(1) No ka hoʻohana ʻana i ka coolant me ka hoʻopuehu maikaʻi ʻana, a pono ka coolant e hoʻohana i ka mea hoʻokahe haʻahaʻa-koe e hōʻemi i ke koena o nā ʻāpana coolant ma ka ʻili o ka wafer silicon;

(2) E hoʻohana i ke kāpili kūpono a me ka papa resin e hōʻemi i ka haumia o ka wafer silicon;

(3) Hoʻokahe ʻia ka wai hoʻoluʻu me ka wai maʻemaʻe e hōʻoia i ʻaʻohe mea haumia maʻalahi i loko o ka wai i hoʻohana ʻia;

(4) No ka ʻili o ka wafer silicon ʻokiʻoki uea daimana, e hoʻohana i ka hana a me ka hopena hoʻomaʻemaʻe i kahi mea hoʻomaʻemaʻe kūpono;

(5) E hoʻohana i ka ʻōnaehana hoʻōla pūnaewele daimana laina coolant e hōʻemi i ka nui o ka pauka silicon i ke kaʻina hana ʻoki, i mea e kāohi pono ai i ke koena o ka pauka silicon ma ka ʻili o ka wafer silicon o ka wafer. I ka manawa like, hiki iā ia ke hoʻonui i ka hoʻomaikaʻi ʻana o ka mahana o ka wai, ke kahe a me ka manawa i ka holoi mua ʻana, e hōʻoia i ka holoi ʻia ʻana o ka pauka silicon i ka manawa kūpono.

(6) Ke kau ʻia ka wafer silicon ma ka papa hoʻomaʻemaʻe, pono e mālama koke ʻia, a mālama i ka wafer silicon i ka pulu i ka wā o ke kaʻina hoʻomaʻemaʻe holoʻokoʻa.

(7) Mālama ka wafer silicon i ka ʻili i pulu i ke kaʻina hana o ka degumming, a ʻaʻole hiki ke maloʻo maoli. (8) I ke kaʻina hana hoʻomaʻemaʻe o ka wafer silicon, hiki ke hoʻemi ʻia ka manawa i hōʻike ʻia i ka lewa e like me ka hiki ke pale aku i ka hana pua ma ka ʻili o ka wafer silicon.

(9) ʻAʻole pono nā limahana hoʻomaʻemaʻe e hoʻopili pololei i ka ʻili o ka wafer silicon i ka wā o ke kaʻina hoʻomaʻemaʻe holoʻokoʻa, a pono e ʻaʻahu i nā mīkina lima laholio, i ʻole e hana i ka paʻi manamana lima.

(10) Ma ka ʻōlelo kuhikuhi [2], hoʻohana ka hopena o ka pākaukau i ka hydrogen peroxide H2O2 + alkali NaOH hoʻomaʻemaʻe e like me ka lakio nui o 1:26 (3% NaOH solution), hiki ke hōʻemi pono i ka hanana o ka pilikia. Ua like kona kumu me ka hoʻomaʻemaʻe SC1 (i ʻike nui ʻia ʻo ka wai 1) o kahi wafer silicon semiconductor. ʻO kāna ʻano hana nui: ua hoʻokumu ʻia ka ʻili oxidation ma ka ʻili wafer silicon e ka oxidation o H2O2, kahi i ʻānai ʻia e NaOH, a hana pinepine ʻia ka oxidation a me ka corrosion. No laila, hāʻule pū nā ʻāpana i hoʻopili ʻia i ka pauka silicon, resin, metala, a me nā mea ʻē aʻe) i loko o ka wai hoʻomaʻemaʻe me ka papa corrosion; ma muli o ka oxidation o H2O2, ua hoʻoheheʻe ʻia nā mea olaola ma ka ʻili wafer i CO2, H2O a wehe ʻia. ʻO kēia kaʻina hana o ka hoʻomaʻemaʻe ʻana ua hoʻohana nā mea hana wafer silicon i kēia kaʻina hana e hana i ka hoʻomaʻemaʻe ʻana o ka uea daimana e ʻoki ana i ka wafer silicon monocrystalline, silicon wafer ma ka home a me Taiwan a me nā mea hana pākaukau ʻē aʻe e hoʻohana ana i nā hoʻopiʻi pilikia velvet keʻokeʻo. Aia kekahi mau mea hana pākaukau i hoʻohana i ke kaʻina hana hoʻomaʻemaʻe velvet like, e kāohi pono ana i ke ʻano o ka velvet keʻokeʻo. Hiki ke ʻike ʻia ua hoʻohui ʻia kēia kaʻina hana hoʻomaʻemaʻe i ke kaʻina hana hoʻomaʻemaʻe wafer silicon e wehe i ke koena wafer silicon i mea e hoʻoponopono pono ai i ka pilikia o ka lauoho keʻokeʻo ma ka hopena o ka pākaukau.

hopena

I kēia manawa, ua lilo ka ʻoki ʻana i ka uea daimana i ʻenehana hana nui ma ke kahua o ka ʻoki ʻana i ka kristal hoʻokahi, akā i ke kaʻina hana o ka hoʻolaha ʻana i ka pilikia o ka hana ʻana i ka velvet keʻokeʻo ua hoʻopilikia i nā mea hana wafer silicon a me nā pila, e alakaʻi ana i nā mea hana pila i ka ʻoki ʻana i ka uea daimana i ka wafer silicon he kūʻē. Ma o ka hoʻohālikelike ʻana i ka ʻāpana keʻokeʻo, ʻo ke koena ma luna o ka ʻili o ka wafer silicon ke kumu nui. I mea e pale maikaʻi ai i ka pilikia o ka wafer silicon i loko o ke kelepona, ua kālailai kēia pepa i nā kumu hiki o ka haumia o ka ʻili o ka wafer silicon, a me nā manaʻo hoʻomaikaʻi a me nā ana i ka hana ʻana. Wahi a ka helu, ka ʻāpana a me ke ʻano o nā kiko keʻokeʻo, hiki ke kālailai a hoʻomaikaʻi ʻia nā kumu. Manaʻo nui ʻia e hoʻohana i ke kaʻina hana hoʻomaʻemaʻe hydrogen peroxide + alkali. Ua hōʻoia ka ʻike holomua e hiki ke pale pono i ka pilikia o ka ʻoki ʻana i ka uea daimana i ka hana ʻana i ka velvet whitening, no ka ʻike ʻana o nā mea kūloko o ka ʻoihana maʻamau a me nā mea hana.