nūhou

ʻIke ʻia ka ʻenehana ʻoki uea daimana e like me ka consolidation abrasive cutting technology.ʻO ia ka hoʻohana ʻana i ka electroplating a i ʻole resin bonding method o daimana abrasive consolidated ma luna o ka ʻili o ke kila uea, daimana uea pololei e hana ana ma luna o ka ʻili o ke koʻokoʻo silicon a i ʻole silicon ingot e hana ai i ka wili, e hoʻokō i ka hopena o ka ʻoki ʻana.Loaʻa i ka ʻoki uea daimana nā hiʻohiʻona o ka wikiwiki ʻoki wikiwiki, kiʻekiʻe o ka ʻoki pono a me ka haʻahaʻa haʻahaʻa haʻahaʻa.

I kēia manawa, ua ʻae piha ʻia ka mākeke aniani hoʻokahi no ka uwea daimana e ʻoki ana i ka wafer silika, akā ua loaʻa pū nō hoʻi i ke kaʻina o ka hoʻolaha ʻana, ma waena o ka velvet keʻokeʻo ka pilikia maʻamau.Ma ka nana ana o keia, keia pepa e pili ana i ka pale ana i daimana uwea oki monocrystalline silicon wafer velvet pilikia keʻokeʻo.

ʻO ke kaʻina hana hoʻomaʻemaʻe o ka uwea daimana e ʻoki ana i ka wafer silicon monocrystalline e wehe i ka wafer silikon i ʻoki ʻia e ka mīkini ʻike uea mīkini mai ka pā resin, e wehe i ke kaula hao, a hoʻomaʻemaʻe i ka wafer silicon.ʻO ka mīkini hoʻomaʻemaʻe ka mea maʻamau i ka mīkini hoʻomaʻemaʻe mua (degumming machine) a me kahi mīkini hoʻomaʻemaʻe.ʻO ke kaʻina hana hoʻomaʻemaʻe nui o ka mīkini hoʻomaʻemaʻe mua: hānai-spray-spray-ultrasonic cleaning-degumming-wai hoʻomaʻemaʻe holoi-underfeeding.ʻO ke kaʻina hana hoʻomaʻemaʻe nui o ka mīkini hoʻomaʻemaʻe: hānai-wai maʻemaʻe holoi-wai maʻemaʻe holoi-alkali holoi-alkali holoi-wai maʻemaʻe holoi-wai maʻemaʻe holoi-mua-dehydration (slow lifting) -drying-feeding.

ʻO ke kumu o ka hana ʻana i ka velvet kristal hoʻokahi

ʻO ka wafer silikon monocrystalline ka hiʻohiʻona o ka anisotropic corrosion o ka wafer silikon monocrystalline.ʻO ke kumu hoʻohālikelike ka hoʻohālikelike hoʻohālikelike kemika:

Si + 2NaOH + H2O = Na2SiO3 + 2H2↑

ʻO ka mea nui, ʻo ke kaʻina hana suede: ʻO ka hopena NaOH no ka nui o ka corrosion rate o ka ʻili aniani like ʻole, (100) ka wikiwiki o ka corrosion o ka ʻili ma mua o (111), no laila (100) i ka wafer silicon monocrystalline ma hope o ka anisotropic corrosion, i hoʻokumu ʻia ma luna o ka ʻili. (111) ʻehā ʻaoʻao cone, ʻo ia hoʻi ke ʻano "pyramid" (e like me ka hōʻike ʻana ma ke kiʻi 1).Ma hope o ka hoʻokumu ʻia ʻana o ka hale, i ka wā e loaʻa ai ke kukui i ka piramid slope ma kekahi Angle, e ʻike ʻia ke kukui i ka pali ma kahi Angle ʻē aʻe, e hana ana i kahi lua a ʻoi aku paha ka absorption, pēlā e hōʻemi ai i ka reflectivity ma ka ʻili o ka wafer silika. , 'o ia ho'i, ka hopena pahele māmā (e nānā i ke Ki'i 2).ʻOi aku ka maikaʻi o ka nui a me ka like ʻole o ka hale "pyramid", ʻoi aku ka maopopo o ka hopena pahele, a ʻoi aku ka haʻahaʻa o ka emitrate o ka wafer silicon.

Kiʻi 1: Micromorphology o monocrystalline silicon wafer ma hope o ka hana alkali

Kiʻi 2: ʻO ka loina pahele māmā o ka hale "pyramid".

ʻIkepili o ka hoʻomaʻemaʻe aniani hoʻokahi

Ma ka nānā ʻana i ka microscope electron ma ka wafer silikoni keʻokeʻo, ua ʻike ʻia ʻaʻole i hoʻokumu ʻia ka pyramid microstructure o ka wafer keʻokeʻo ma ia wahi, a ʻo ka ʻili me he mea lā he ʻāpana "waxy" koena, ʻoiai ke ʻano pyramid o ka suede. ma kahi keʻokeʻo o ka wafer silika like i hoʻokumu maikaʻi ʻia (e nānā i ke kiʻi 3).Inā loaʻa nā koena ma ka ʻili o ka wafer silikon monocrystalline, e loaʻa i ka ʻili ke koena wahi "pyramid" ka nui o ka nui a me ka hana like ʻole a ʻaʻole lawa ka hopena o ka ʻāpana maʻamau, e hopena i ke koena o ka velvet surface reflectivity ʻoi aku ka kiʻekiʻe ma mua o ka wahi maʻamau, ka wahi me ka reflectivity kiʻekiʻe hoʻohālikelike ʻia me ka ʻāpana maʻamau i ka ʻike i ʻike ʻia e like me ke keʻokeʻo.E like me ka mea i ʻike ʻia mai ka hoʻolaha ʻana o ka wahi keʻokeʻo, ʻaʻole maʻamau a ʻano maʻamau paha ma kahi nui, akā ma nā wahi kūloko wale nō.ʻAʻole i hoʻomaʻemaʻe ʻia nā mea haumia kūloko ma ka ʻili o ka wafer silika, a i ʻole ke kūlana ʻili o ka wafer silika ma muli o ka haumia lua.

Kiʻi 3: Ka hoʻohālikelike ʻana o nā ʻokoʻa microstructure ʻāpana i nā ʻeke silikona keʻokeʻo vevevet

ʻOi aku ka maʻalahi o ka ʻili o ka uea daimana e ʻoki ana i ka wafer silika a ʻoi aku ka liʻiliʻi o ka pōʻino (e like me ka hōʻike ʻana ma ke Kiʻi 4).Ke hoʻohālikelike ʻia me ka mortar silicon wafer, ʻoi aku ka lohi o ka wikiwiki o ka hopena o ka alkali a me ke kaula daimana e ʻoki ana i ka ʻili silicon wafer ma mua o ka ʻoki ʻana i ka mortar silicon wafer monocrystalline, no laila ʻoi aku ka ʻike o ka hopena o nā koena o ka ʻili i ka hopena velvet.

Kiʻi 4: (A) Micrograph ʻili o ka mortar ʻoki silikona wafer (B) ʻili o ka ʻili o ka uea daimana ʻoki ʻoki silikon wafer.

Ke kumu nui koena o daimana uea-oki silika wafer ili

(1) Coolant: ʻO nā mea nui o ka uea daimana e ʻoki ana i ka coolant he surfactant, dispersant, defamagent a me ka wai a me nā mea ʻē aʻe.ʻO ka ʻoki wai me ka hana maikaʻi loa he hoʻokuʻu maikaʻi, hoʻopuehu a me ka hiki ke hoʻomaʻemaʻe maʻalahi.ʻOi aku ka maikaʻi o nā waiwai hydrophilic i nā surfactants, kahi maʻalahi e hoʻomaʻemaʻe ma ke kaʻina hoʻomaʻemaʻe wafer silika.ʻO ka hoʻoulu ʻana a me ka neʻe ʻana o kēia mau mea hoʻohui i loko o ka wai e hoʻohua i ka nui o ka pua, ka hopena i ka emi ʻana o ke kahe ʻana o ka coolant, e pili ana i ka hana hoʻoluʻu, a me nā pilikia koʻikoʻi a me nā pilikia o ka hoʻoulu ʻana, e hoʻopilikia nui i ka hoʻohana.No laila, hoʻohana mau ʻia ka mea hoʻomaʻamaʻa me ka mea hoʻoheheʻe.I mea e hōʻoia ai i ka hana defoaming, ʻo ka silicone kuʻuna a me ka polyether ka maʻamau hydrophilic.He mea maʻalahi loa ka hoʻoheheʻe ʻana i ka wai a noho ma luna o ka ʻili o ka wafer silicon i ka hoʻomaʻemaʻe hope ʻana, ka hopena i ka pilikia o kahi kiko keʻokeʻo.A ʻaʻole kūpono i nā mea nui o ka mea hoʻomaʻamaʻa, No laila, pono e hana ʻia i ʻelua mau ʻāpana, Hoʻohui ʻia nā mea nui a me nā mea defoaming i loko o ka wai, I ke kaʻina o ka hoʻohana ʻana, e like me ke ʻano o ka pua, ʻAʻole hiki ke hoʻomalu i ka nui. ka hoʻohana ʻana a me ke ʻano o nā mea hana antifoam, hiki ke ʻae i ka overdose o nā mea anoaming, ke alakaʻi nei i ka hoʻonui ʻana i nā koena wafer silicon surface, ʻoi aku ka maʻalahi o ka hana, akā naʻe, ma muli o ke kumu kūʻai haʻahaʻa o nā mea maka a me ka defoaming agent maka. nā mea, No laila, hoʻohana ka hapa nui o ka mea hoʻomaʻamaʻa hale i kēia ʻōnaehana kumu;Hoʻohana kekahi mea hoʻomaʻamaʻa hou i kahi mea hoʻoheheʻe defoaming hou, Hiki ke kūpono me nā mea nui, ʻAʻohe mea hoʻohui, Hiki ke hoʻomalu maikaʻi a me ka helu ʻana i kona nui, Hiki ke pale pono i ka hoʻohana nui ʻana, He mea maʻalahi hoʻi nā hoʻomaʻamaʻa e hana, Me ke kaʻina hana hoʻomaʻemaʻe kūpono. Hiki ke hoʻomalu ʻia nā koena i nā haʻahaʻa haʻahaʻa loa, I Iapana a me kekahi mau mea hana hale i hoʻohana i kēia ʻōnaehana kumu, akā naʻe, ma muli o kāna kumu kūʻai kumu kumu kiʻekiʻe, ʻaʻole maopopo kona kumukūʻai.

(2) Ke kāpili a me ka resin version: i ka hope o ke kaʻina hana ʻoki uea daimana, ʻO ka wafer silika kokoke i ka hopena e hiki mai ana ua ʻoki ʻia ma mua, ʻAʻole i ʻoki ʻia ka wafer silicon ma ka hopena puka, ʻO ke daimana i ʻoki mua ʻia. Ua hoʻomaka ka uea e ʻoki i ka ʻōpala a me ka pā resin, no ka mea ʻo ke koʻokoʻo silicon a me ka papa resin he mau huahana epoxy resin, ʻo kona wahi palupalu ma waena o 55 a me 95 ℃, inā ʻo ka wahi palupalu o ka ʻōpala a i ʻole ka resin. He haʻahaʻa ka pā, hiki iā ia ke wela i ka wā o ka ʻoki ʻana a lilo ia i palupalu a heheʻe, Hoʻopili ʻia i ka uwea kila a me ka ʻili ʻili silika, No ka emi ʻana o ka hiki ke ʻoki o ka laina daimana, A i ʻole e loaʻa nā wafer silika a i hoʻopaʻa ʻia me ka resin, i ka wā i hoʻopili ʻia, paʻakikī loa ke holoi ʻana, ʻo ia ʻano haumia ka mea ma kahi kokoke i ka lihi o ka wafer silika.

(3) ʻO ka pauka silika: i ke kaʻina o ka ʻoki uea daimana e hoʻohua i ka nui o ka pauka silika, me ka ʻoki ʻana, ʻoi aku ka kiʻekiʻe o ka pauka mortar coolant powder, i ka nui o ka pauka, e pili i ka ʻili silika, a me ka ʻoki ʻana i ka uea daimana i ka nui a me ka nui o ka pauka silika e alakaʻi i ka maʻalahi o ka adsorption ma ka ʻili silika, e paʻakikī ke hoʻomaʻemaʻe.No laila, e hōʻoia i ka hōʻano hou a me ka maikaʻi o ka mea hoʻomaʻamaʻa a hoʻemi i ka pauka i loko o ka mea hoʻomaha.

(4) mea hoʻomaʻemaʻe: ka hoʻohana ʻana i kēia manawa o nā mea hana ʻoki kaula daimana e hoʻohana nui ana i ka ʻoki ʻana i ka mortar i ka manawa like, ka hapa nui e hoʻohana i ka ʻoki ʻana i ka mortar prewashing, ka hana hoʻomaʻemaʻe a me ka mea hoʻomaʻemaʻe, etc. ʻO ka hoʻonohonoho piha o ka laina, coolant a me ka ʻoki ʻana i ka mortar he ʻokoʻa nui, no laila ʻo ke kaʻina hana hoʻomaʻemaʻe kūpono, ka mea hoʻomaʻemaʻe hoʻomaʻemaʻe, formula, etc.He mea koʻikoʻi ka mea hoʻomaʻemaʻe, ʻo ka mea hoʻomaʻemaʻe kumu hoʻomaʻemaʻe surfactant, ʻaʻole kūpono ka alkalinity no ka hoʻomaʻemaʻe ʻana i ke kaula daimana e ʻoki ana i ka wafer silika, pono ia no ka ʻili o ka wafer uea daimana, ka haku mele a me nā koena o ka mea hoʻomaʻemaʻe i manaʻo ʻia, a lawe pū me. ke kaʻina hana hoʻomaʻemaʻe.E like me ka mea i ʻōlelo ʻia ma luna nei, ʻaʻole pono ke ʻano o ka defoaming agent i ka ʻoki ʻana i ka mortar.

(5) Ka wai: ka ʻoki ʻana i ke kaula daimana, ka holoi ʻana a me ka hoʻomaʻemaʻe ʻana i ka wai kahe i loko o nā mea haumia, hiki ke hoʻopili ʻia i ka ʻili o ka wafer silika.

E hōʻemi i ka pilikia o ka hana ʻana i ka lauoho velvet keʻokeʻo i nā manaʻo

(1) No ka hoʻohana ʻana i ka mea hoʻoheheʻe me ka hoʻopuehu maikaʻi, a pono ka mea hoʻomaʻamaʻa e hoʻohana i ka mea hoʻoheheʻe haʻahaʻa haʻahaʻa e hōʻemi i ke koena o nā mea hoʻoheheʻe ma luna o ka ʻili o ka wafer silicon;

(2) E hoʻohana i ke kāpili kūpono a me ka pā resin e hōʻemi i ka haumia o ka wafer silika;

(3) Hoʻoheheʻe ʻia ka mea hoʻomaʻamaʻa me ka wai maʻemaʻe e hōʻoiaʻiʻo ʻaʻohe maʻalahi o nā koena haumia i loko o ka wai i hoʻohana ʻia;

(4) No ka ili o ka uwea daimana oki silika wafer, hoʻohana i ka hana a me ka hoʻomaʻemaʻe hopena ʻoi aku ka maikaʻi o ka hoʻomaʻemaʻe hoʻomaʻemaʻe;

(5) E hoʻohana i ka ʻōnaehana hoʻihoʻi hou i ka laina daimana e hōʻemi i ka ʻike o ka pauka silika i ke kaʻina ʻokiʻoki, i mea e hoʻomalu pono ai i ke koena o ka pauka silika ma ka ʻili silicon wafer o ka wafer.I ka manawa like, hiki iā ia ke hoʻonui i ka hoʻomaikaʻi ʻana i ka mahana o ka wai, kahe a me ka manawa i ka holoi mua ʻana, e hōʻoia e holoi ʻia ka pauka silika i ka manawa.

(6) Ke kau ʻia ka wafer silika ma luna o ka papa hoʻomaʻemaʻe, pono e mālama koke ʻia, a mālama i ka wafer silika i pulu i ka wā o ka hoʻomaʻemaʻe holoʻokoʻa.

(7) Mālama ka wafer silika i ka pulu ma ke kaʻina hana degumming, ʻaʻole hiki ke maloʻo maoli.(8) Ma ke kaʻina hana hoʻomaʻemaʻe o ka wafer silicon, hiki ke hoʻemi ʻia ka manawa i hōʻike ʻia i ka lewa e like me ka hiki ke pale i ka hana pua ma ka ʻili o ka wafer silicon.

(9) ʻAʻole e hoʻopili pololei nā limahana hoʻomaʻemaʻe i ka ʻili o ka wafer silicon i ka wā o ka hoʻomaʻemaʻe holoʻokoʻa, a pono e hoʻokomo i nā mīkina lima lima, i ʻole e hana i ka paʻi manamana lima.

(10) Ma ke kuhikuhi [2], hoʻohana ka hopena o ka pākaukau i ka hydrogen peroxide H2O2 + alkali NaOH kaʻina hoʻomaʻemaʻe e like me ka ratio leo o 1:26 (3%NaOH solution), hiki ke hoʻemi pono i ka hiki ʻana mai o ka pilikia.Ua like kona kumumanao me ka solution hoʻomaʻemaʻe SC1 (i ʻike mau ʻia ʻo ka wai 1) o kahi wafer silicon semiconductor.ʻO kāna hana nui: ua hoʻokumu ʻia ke kiʻi oxidation ma ka ʻili wafer silicon e ka oxidation o H2O2, ka mea i hoʻoheheʻe ʻia e NaOH, a ke hana pinepine ʻia ka oxidation a me ka corrosion.No laila, hāʻule pū nā ʻāpana i hoʻopili ʻia i ka pauka silika, resin, metala, etc.) i loko o ka wai hoʻomaʻemaʻe me ka papa corrosion;ma muli o ka oxidation o H2O2, hoʻoheheʻe ʻia ka mea organik ma ka ʻili wafer i CO2, H2O a wehe ʻia.ʻO kēia kaʻina hoʻomaʻemaʻe he mau mea hana wafer silika e hoʻohana ana i kēia kaʻina hana e hoʻomaʻemaʻe i ka hoʻomaʻemaʻe ʻana i ka uea daimana e ʻoki ana i ka wafer silicon monocrystalline, wafer silicon i loko o ka home a me Taiwan a me nā mea hana pākaukau ʻē aʻe i hoʻohana pū ʻia i nā hoʻopiʻi pilikia keʻokeʻo velvet.Aia kekahi mau mea hana pākaukau i hoʻohana like i ka velvet pre-cleaning kaʻina, hoʻomalu pono hoʻi i ke ʻano o ka velvet keʻokeʻo.Hiki ke ʻike ʻia ua hoʻohui ʻia kēia kaʻina hana hoʻomaʻemaʻe i loko o ke kaʻina hoʻomaʻemaʻe silicon wafer no ka wehe ʻana i ke koena wafer silicon i mea e hoʻoponopono pono ai i ka pilikia o ka lauoho keʻokeʻo ma ka hopena o ka pākaukau.

hopena

I kēia manawa, ua lilo ka ʻoki uea daimana i ka ʻenehana hana nui ma ke kahua o ka ʻoki aniani hoʻokahi, akā i ke kaʻina hana o ka hoʻolaha ʻana i ka pilikia o ka hana ʻana i ka velvet keʻokeʻo ua hoʻopilikia i ka wafer silika a me nā mea hana pākaukau, e alakaʻi ana i nā mea hana pākaukau i ka uea daimana e ʻoki ana i ke silika. he kūʻē kekahi wafer.Ma o ka hoʻohālikelike hoʻohālikelike o ka wahi keʻokeʻo, ʻo ia ke kumu nui o ke koena ma ka ʻili o ka wafer silika.I mea e pale maikaʻi ai i ka pilikia o ka wafer silika i loko o ke keena, e kālailai kēia pepa i nā kumu kumu o ka haumia ʻili o ka wafer silicon, a me nā manaʻo hoʻomaikaʻi a me nā ana i ka hana ʻana.E like me ka helu, ka ʻāina a me ke ʻano o nā kiko keʻokeʻo, hiki ke nānā a hoʻomaikaʻi ʻia nā kumu.Paipai ʻia e hoʻohana i ka hydrogen peroxide + kaʻina hoʻomaʻemaʻe alkali.Ua hōʻike ka ʻike kūleʻa i hiki ke pale pono i ka pilikia o ka uea daimana e ʻoki ana i ka wafer silika e hana ana i ka velvet whitening, no ka ʻike ʻana o ka ʻoihana nui a me nā mea hana.